1 × 10^-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

09.1 - 带保护圈的高真空闸阀

用于超高副作用产品气流隔离的保存解决方案

适用于富有挑战性的次晶圆厂工艺

如果气流中副产品的比例很高，形成的沉积物可能会导致阀门故障以及计划外的维护工作。09.1 带保护圈的高真空闸阀可避免这一问题。得益于其具有自清洁功能的特殊楔形设计以及保护圈，即便阀座上有大量沉积物，该高真空闸阀依然可以平稳地打开和关闭。由于阀板的楔形设计，沉积物会被专门推离阀座或闸封，以始终保证可靠的密封性。此外，保护圈通过在阀门打开位置完全覆盖外壳，防止在板中积聚任何沉积物。09.1 高真空闸阀在压差高达 1 bar 的情况下可以完全正常运转。

09.1 带保护圈的高真空闸阀已经安装在各种工艺条件下的严苛应用中，证明了其在次晶圆厂应用领域的卓越可靠性。它可以轻易集成到任何应用中。

09.1带保护圈的高真空闸阀为气动类型。控制阀的标准电压为 24 VDC。标准密封材料为氟橡胶，但可根据要求使用其他材料。此外，还可以集成软抽功能，并为测量仪器等增加额外的接入点。

也可查看
09.1 采用楔形设计的高真空闸阀
 09.2 HV 楔形设计的高真空插板阀

09.1带保护圈的高真空闸阀主要特点

特点:

由于楔形设计，此高真空闸阀具有自清洁功能
保护圈可防止积聚沉积物
阀门可在压差高达 1 bar 时开启

优势:

在极恶劣条件下拥有出色的可靠性
维护周期延长
低运行成本

技术数据

尺寸		DN 100mm (4")
驱动器	气动	双作用
阀体材料		不锈钢
馈通件		波纹管
标准法兰		ISO-F
泄漏率	阀体	< 1 × 10^-9 mbar ls^-¹
	阀座	< 1 × 10^-7 mbar ls^-¹
压力范围		1 × 10^-8 mbar to 1.2 bar (绝对压强)
阀板可承受压差		≤ 1.2 bar
打开时可承受压差		≤ 1 bar
首次维护前开关次数		1000 次
温度	阀体	≤ 150 °C
	驱动器	≤ 100 °C
	电磁阀	≤ 50 °C
	位置指示器	≤ 70 °C
材料	阀体、阀板	AISI 304 (1.4301)
	波纹管	AISI 633 (AM350)
密封	阀盖、阀板	氟橡胶（含氟弹性体）可选：FFKM
安装位置		任何位置
电磁阀		24 VDC，1 W
位置指示器：触点额定值	电压	24 VAC/DC
	电流	≤0.5 A
	功率	最大为 10 W
重量		20 kg / 44.1 lbs