在所有条件下均能可靠隔离

01.0 小型超高真空闸阀系列采用 VAT 的 MONOVAT 专利技术,该技术旨在提供可靠的阀板密封,同时不会产生任何摩擦。利用 MONOVAT 技术,阀板密封经硫化处理 后可实现更可靠和持久的密封性,并在低颗粒产生量和 释气性方面具有优异的性能。

MONOVAT 的特殊软关闭 机制可最大限度地减少快速移动的阀板接触阀体对过程造成的潜在冲击影响。不含润滑剂、无真空阀门机构、可 达到 250℃ 的烘烤温度和特殊的清洁选项,消除了过程污染的风险。

凭借其模块化设计和各种设计选项,01.0 系列几乎可以 根据每一项需求进行定制,甚至在安装后也能提供多种 更新选项,例如不同的驱动或阀板。

01.0 系列已经安装在数千个各种工艺条件下的要求 苛刻的应用中,证明了其卓越的可靠性。其已成为 DN 16–50 mm (5/8"–2") 尺寸的超高真空隔离标准。

01.0
手动

01.0
气动


01.0
关闭
01.0
打开

01.0 小型超高真空闸阀可提供带电磁阀的手动和气动两 种类型,作为设备上解决方案或用于外部安装均可。电磁 阀的标准电压为 24 VDC,但可根据要求提供其他电压。

阀门位置由一个视觉(机械)指示器指示。法兰连接器的标 准选项为 ISO-KF、CF-F。可集成客户指定法兰。


标准密封件材质为氟橡胶,但可根据要求使用其他材料。

用于气体分析的 01.0 特殊型式提供了旁通阀和孔板模块,它们组合在一起可实现可靠和固定的减压。带窗闸门也是 一种选择。


01.0 小型超高真空闸阀主要特点

特点:

    • 可靠、坚固的模块化设计
    • 避免产生颗粒的 MONOVAT 技术
    • 不含润滑剂,最高可烘烤至 250℃
    • 进给机构以焊接金属波纹管密封
    • 坚固的不锈钢外壳

优势:

    • 性能可靠
    • 升级选项
    • 维护量少,可轻松维护
    • 购置成本低

模块化设计

小型超高真空闸阀
1 带 CF-F 法兰的阀体
2 带 ISO-KF 法兰的阀体
3 手动驱动器
4 带位置指示器的手动驱动器
5 气动驱动器:单作用,带关闭弹簧 (NC) 或 单作用带开启弹簧 (NO)
6 气动驱动器:双作用,机械锁定
7 80 °C 的位置指示器(标准)
8 200 °C 位置指示器(可选)
9 三/双向 通电磁阀
10_ 四/双向 通电磁阀
  • 技术数据
尺寸 

DN 16  50 mm (5/8"  2")

驱动器

气动

带闭合弹簧 (NC) 或开启弹簧 (NO) 的单作用,或双作用

 

手动

带转动手柄

阀体材料 不锈钢
进给机构 波纹管
标准法兰 

ISO-KFCF-F

泄露率

阀体

< 5 × 10-10 mbar ls-1

 

阀座

< 1 × 10-9 mbar ls-1

压力范围 

1 × 10-10 mbar 至 2 ba(r 绝对压强)

压差阀板≤ 2 bar
 打开时≤ 30 mbar
首次维护前开关次数 50 000
温度阀体≤ 250 °C 打开 / ≤ 200 °C 关闭
 气动驱动器≤ 200 °C
 电磁阀≤ 50 °C
 位置指示器≤ 80 °C
 手动驱动器≤ 250 °C
加热和冷却速率 ≤ 50 °C h-1
材质阀体AISI 304 (1.4301), AISI 316L (1.4435)
 机构AISI 304 (1.4301)
 波纹管AISI 316L (1.4435)
密封阀帽金属
 阀板氟橡胶(Viton®)
安装位置 任何位置
电磁阀驱动器、带闭合或开启弹簧24 VDC, 9.0 W (可根据要求提供其他值)
 驱动器、双作用24 VDC, 5.4 W (可根据要求提供其他值)
位置指示器、触点额定值电压≤ 250 VAC≤ 50 VDC
 电流≤ 5 A≤ 3 A
阀门位置指示器 视觉(机械)
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