67.0 系列专为半导体生产中的腐蚀性蚀刻和清洁工艺而设计，可用作下游控制和隔离阀。
工艺室内的气流特性直接影响工艺速度和质量。尽管传统上，工艺设计最注重气体流入，但下游气流同样有助于工艺优化。
通常，晶圆周围的气流越均匀，晶圆上的气体反应就越平稳、越同步。
这不仅适用于气体引入阶段，还适用于气体从舱室排出阶段。出口位置设计或阀门操作期间的流动路径变化可能造成气体分布不对称，阻碍气体排出或产生不均匀的流速。两者都可能以不同的气体暴露时间和不平衡对流的形式对晶圆造成负面影响。此外，两者都可能导致工艺耗气量增加、流程时间延长。
解决方案是对整个流程周期的气流设计进行优化。67.0对称控制阀为这种方法奠定了新基础。
采用流量优化设计，还能以全新方式设计工艺室。借助其特殊的打开和关闭机构，气流在整个开关周期中对称分布，实现前所未有的流量和压力控制。“软接触”隔离功能强化了这一点。67.0 对称控制阀移动平缓，可避免任何关闭冲击，从而减少粒子生成量。
67.0 对称控制阀的另一优势是占用空间小。相较于其他解决方案，所需的安装空间更少。
67.0 对称控制阀与气流优化的顶喷和舱室设计相结合，实现了前所未有的全新过程控制水平。这有助于提高产量质量和缩短循环周期，从而提高生产率。
67.0 对称控制阀可提供 DN 为 250-450 mm (10"–18") 的尺寸。阀体材料为铝或硬质阳极氧化铝。泵侧的标准法兰为 ISO-F 或 JIS。舱室法兰采用专有设计。法兰、阀板和驱动器采用弹性体密封。馈通件采用波纹管密封。阀板加热器为选件。
67.0 对称控制阀由两个带有闭环控制步进电机的同步线性驱动器驱动。现代 32 位控制器可借助个人计算机或 PCU 通过各种标 准端口进行连接。专用的控制性能分析仪 (CPA) 软件能够详细监测 67.0 对称控制阀并调整周期性运动。
67.0 对称控制阀计划在首次维护前，进行200 万次控制周期和 20 万次隔离周期。可快速轻松地完成更换密封件等维护要求。
特点:
优势:
尺寸 | DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14"), DN 400 (16"), DN 450 (18") | ||
|---|---|---|---|
驱动器 | 两个带有闭环控制步进电机的 同步线性驱动器 | ||
阀体材料 | 铝或硬质阳极氧化铝 | ||
馈通件 | 波纹管 | ||
| 标准 法兰 | 泵侧 舱室侧 | ISO-F, JIS 专有 | |
泄漏率：阀体 | 铝 硬质阳极氧化铝 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-5 mbar ls-1 | |
泄漏率：阀座 | 铝 硬质阳极氧化铝 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-4 mbar ls-1 | |
压力范围 | 铝 硬质阳极氧化铝 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (绝对压强) 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (绝对压强) | |
阀板可承受压差 | 舱室侧 →阀板 泵侧 →阀板 | 1200 mbar (valve closed) 10 mbar | |
首次维护前开关次数1) | 压力控制 隔离 | 200 万次 20万次 | |
温度 | 阀体 驱动器：环境 | ≤ 120 °C 最大 50℃（建议 ≤35℃） | |
材料 | 法兰、阀板 | EN AW-6082 (3.2315) or AW-6061 (3.3211) | |
驱动器轴 | AISI 316L (1.4404) | ||
波纹管 | AISI 633 (AM 350) | ||
密封 | 法兰、阀板、驱动器 | 氟橡胶 | |
安装位置 | 驱动器朝下 | ||
1) 最大值取决于操作条件和密封材料
