薄膜涂层
薄膜涂层工艺可以作用于许多不同的工艺,例如,CVD、PVD、MOCVD或PECVD。所有工艺的共同点是都在受控的大气条件下进行,例如在氩气环境和真空下。对真空和气体分布的精确控制对镀膜过程的效率至关重要。VAT阀门技术在这一领域设立了严格标准。
阅读更多15.0 隔离闸阀系列旨在用于需要低颗粒产生量和低冲击敏感性的应用。这些阀门可用于各种压力水平(最高为超高真空 < 10-10 mbar)下的真空隔离。
该系列的所有阀门均采用 MONOVAT 技术。该技术能提供可靠的闸门密封,同时不会产生任何摩擦,并且还会产生降低颗粒的风险。MONOVAT 技术的关键特点之一是经硫化处理的闸封。这是一种高度可靠且更持久的密封解决方案。另一个优势是其在低颗粒产生量和释气性方面的优异性能。
此外,MONOVAT 技术的特殊软关闭机制(不含任何润滑剂)可最大限度地减少对安装阀门的系 统的机械冲击影响。在传统的阀门解决方案中,快速移动的阀板接触阀体会引起机械冲击。15.0 隔离闸阀系列已安装在数千个要求苛刻的应用中,证明了其在各种工艺条件下的卓越的可靠性。
坚固的分体式设计减少了工作量并简化了维护。该系列可轻松满足从标准真空到超高真空的所有真空隔离要求。
法兰连接、密封件材质或额外真空端口的各种设计选项使其易于集成到任何应用中。
15.0 隔离闸阀可搭配气动驱动器和电磁阀使用;作为设备上解决方案或用于外部安装均可。电磁阀的标准电压为 24 VDC,但可根据要求提供其他电压。阀门位置由最高可烘烤至 140℃ 的机械或电气位置指示器指示。
法兰连接 ISO-F、CF-F (15.2)、ASA-LP 和 JIS为标准选项,还可提供客户指定法兰。可集成 定制功能,例如特殊的带窗闸门和带箔阀板,或额外的真空端口。
这些阀门配有氟橡胶密封。可根据要求使用其他密封件材质。
特点:
优势:
尺寸 | DN 63 (2½’’), DN 100 (4"), DN 160 (6") | ||
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驱动器 | 气动 | 双作用 | |
阀体材料 | 铝 | ||
阀体材料 | 轴进给机构 | ||
标准法兰 | ISO-F, ASA-LP, JIS | ||
泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
压力范围 | 1 × 10-7 mbar to 1 bar (绝对压强) | ||
可承受压差 | 阀板 | ≤ 1.2 bar | |
打开时 | ≤ 30 mbar | ||
首次维护前开关次数 | 50万次 | ||
温度 | 阀体 | ≤ 120 °C | |
驱动器 | ≤ 100 °C | ||
电磁阀 | ≤ 50 °C | ||
位置指示器 | ≤ 80 °C | ||
加热和冷却速率 | ≤ 30 °C h-1 | ||
材质 | 阀体 | EN AW-6082 (3.2315) | |
波纹管 | AISI 633 (AM350) | ||
密封 | 阀帽阀板 | 氟橡胶 (Viton®) | |
安装位置 | 任何位置 | ||
电磁阀 | 24 VDC,5.4 W(可根据要求提供其他值) | ||
位置指示器:触点额定值 | 电压 | ≤ 250 VAC | ≤ 50 VDC |
电流 | ≤ 2 A | ≤ 1.2 A | |
阀门位置指示 | 视觉(机械) |