对现代自动化气体计量阀的主要要求是其可控程度以及具有可靠且精确地遵循预定义流量设置的能力。 62.8 高真空气体计量阀系列同时具备这两种功能。
62.8 系列由步进电机驱动，能够以非常精细的程度将压力控制在 < 1 x 10-8 mbar 至 3 bar 的范围内。
从初始打开到完全传导的流量特性可以在任何压力水平下完全控制，这使得 62.8 系列在其操作范围内表现出色。62.8 系列通过一种阀门解决方案，解决了通常需要多个不同的阀门处理的问题。
该系列还提供了前所未有的可控性。 62.8系列 的特殊隔离和控制系统 - 针和板机构可实现非常平滑的打开特性，即使在电导率非常低的情况下也能避免任何压力变化峰值。
所选择的流量特性可以通过固定设置来定义，也可以在动态设置中运行，其中 62.8 系列通过其控制器连接到过程中的压力传感器。
由于采用 O 形圈密封馈通，动态密封件的数量仅限于板式密封件，从而通过减少维修需求来提高阀门的可靠性和可用性。 62.8 系列在各种工艺条件下的许多苛刻应用中进行了测试，证明了其出色的性能。
集成控制器
外部控制器
关闭
打开
62.8 高真空气体计量阀采用ISO-KF和 DN 16不锈钢材质。标准阀盖密封件为 FKM，但如果特殊应用需要，可对材料进行调整。
控制性能分析器是一款可在任何 PC、笔记本电脑或平板电脑上运行的软件，可以轻松监控和分析 62.8系列 性能，以将阀门设置调整为所需的过程参数。
特点:
优势:
| 尺寸 | DN 16 mm (5⁄8") | |
|---|---|---|
| 驱动器 | 步进电机 | |
| 机体材料 | 不锈钢 | |
| 馈通件 | 旋转馈通 | |
| 标准法兰 | ISO-KF | |
| 泄漏率1) | 阀体，阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 压力范围1) | < 1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs) | |
| 阀板可承受压差 | ≤ 3 bar | |
| 温度 | 环境 | ≤ 40 °C |
| 材料 | 阀体 针 过滤器 闸门 |
AISI 304 (1.4301) AISI 304 (1.4301) AISI 316L (1.4404) AISI 316L (1.4435) |
| 密封 | 馈通件 闸门 定量喷嘴 固定喷嘴 过滤器 |
FKM FKM PTFE FKM FKM |
| 安装位置 | 任何位置 | |
| 可控的电导率 | 最小 / 最大 | 5 x 10-4 / 900 mbar ls-1 (1个过滤) 5 x 10-4 / 800 mbar ls-1 (2个过滤) |
| 操作时间 | 关闭 / 打开 | ≤ 2 s / ≤ 1.7 s |
| 电源 | 24 VDC | |
| 控制 | 数字化 | |
| 重量 | 2.4 kg / 5.3 lbs |
1) 交货时未加热
