98.0 - 机电一体化晶圆升降系统

VAT 的 98.0 机电晶圆升降系统结合了最新的驱动、控制、材料和密封技术，为半导体制造全领域的晶圆处理系统创建了更简单、更智能的解决方案。它的关键功能是提供精确、快速的晶圆运动，以及尽可能平滑的运动轮廓。

晶圆升降系统的运动曲线基于 VAT 最新一代快速机电一体化阀门和运动组件背后的技术，完全可编程，有绝佳的控制能力。其中一个关键因素是起始位置和终止位置可以灵活控制，并且不受机械停机的限制。无需机械发明即可轻松进行控制调整。此外，升降运动的力和速度在运动的任何阶段都是可控的，从而可提供非常精确、平稳和快速的晶圆处理。

98.0 机电晶圆升降系统采用 IC2（32 位）控制器，任何时间任何运动阶段的所有晶圆升降都完美同步。可以达到非常快速且同时非常温和的提升运动，即使在恶劣和不断变化的工艺条件下也是可重复且可靠的。

98.0 的设计重点是占地面积最小化，可通过三个小型、非常紧凑的独立驱动升降机来实现，这与集成要求更高的集中式驱动器解决方案相反。系统的中央控制单元确保三台升降机绝对同步运动。比如在升降机更换后，自动校准程序可确保消除客户系统中的机械公差。

98.0 机电晶圆升降系统专为免维护操作和耐用性而设计。 IC2 控制器具有板载控制性能分析仪 (CPA)，可连接到任何 PC 或 PCU 以监控和更改升降系统的任何性能设置。凭借其阳极氧化铝主体以及不锈钢波纹管销馈通密封（可选用镍合金用于腐蚀性应用），该升降系统非常适合各种生产环境。

特点：

优势：