Bei Ventilen mit pneumatischem oder elektromagnetischem Antrieb tauchen beim Anstoßen bzw. Abbremsen des Ventiltellers zwangsläufig Stöße und Vibrationen auf. Zwar lassen sich solche Störungen durch verschiedenste technische Kniffe verlässlich mindern, dennoch ist bei vielen Anwendungen der Aufwand für die Vibrationsdämpfung erheblich oder führt im Extremfall zu Einschränkungen von Leistungsparametern.

Aus diesem Grund setzt VAT zunehmend auf Elektroantriebe. Diese Antriebsart zeichnet sich durch eine präzise regelbare Schließ- bzw. Öffnungsbewegung des Ventiltellers auch bei sehr kurzen Schließzeiten aus. Die steigenden Anforderungen in modernen Hightech-Anwendungen – etwa der Herstellung von Halbleiterchips – in Bezug auf die Schwingungsarmut machen diese technische Lösung auch für Isolationsventile immer interessanter.

Entsprechend arbeitet VAT seit einigen Jahren neben der Entwicklung von elektroantrieben für Vakuum-Kontrollventile auch an der Entwicklung motorgetriebener Ventil-Varianten für Vakuum-Isolationsventile. Besonderes Augenmerk kommt dabei der Gruppe der Eckventile zu – einer universellen und sehr modularen Ventil-Bauart, die in enorm vielen Anlagebereichen zum Einsatz kommt. Bei Eckventilen bringt der Elektroantrieb signifikante Vorteile in der Stoß- und Vibrationsvermeidung mit sich. Elektroangetriebene Eckventile benötigen keine zusätzliche mechanische Vibrationsdämpfung und können daher näher an vibrationskritische Prozessbereiche gebracht werden, was in vielen Bereichen die Komplexität von Vakuumsystemen verringert.

Individuelles Motorenlayout für jeden Anwendungsfall

Um die Vorteile des Elektroantriebs bestmöglich auszuschöpfen, werden für jedes Ventil-Anwendungsgebiet individuelle Kraftübertragungen und Motorenlayouts definiert. Beispielsweise müssen Ventile, die für ultraschnelle Zykluszeiten ausgelegt sind, mit anderen Motoren betrieben werden als Ventile mit normalen Schließzyklen, und bei großen Ventilen mit schweren Tellern ist eine andere Motordimension nötig als bei kleinen Ventilen.

Es ist gängige Praxis, dass VAT-Kunden die neu entwickelten Ventile einer eigenen Prüfung unterziehen und mögliche Einsatzgebiete abstecken. Für die neue, elektrisch angetriebene Eckventilvariante 26.4 ist diese „Qualifikationsphase“ derzeit in vollem Gange: Verschiedene Unternehmen im Forschungs- und Industriebereich testen Ventile dieser Baureihe und loten aus, welche Möglichkeiten die neuen Leistungsparameter für die Optimierung bestehender Anlagen bzw. den Bau zukünftiger Anlagen bringen.

Ein solcher Praxistest in der renommierten indischen Großforschungsanlage BARC hat nun bestätigt, dass bei dem neu entwickelten motorgesteuerten VAT-Hochvakuum-Eckventil der Baureihe 26.4 (DN 25) der Geräuschpegel auf weniger als 48 dB reduziert ist, ein klarer Parameter für die Stoß- und Vibrationsvermeidung. Auch die von VAT angegebenen unten 300 ms Schließzeit erwiesen sich in verschiedenen Belastungstest als verlässlich. Mit der Ankündigung, wonach die neuen Eckventile nicht nur sanfter steuerbar, sondern auch sehr schnell schließen, hat VAT also nicht zu viel versprochen!

26.4
26.4 HV-Eckventil mit elektrischem Antrieb