Hierbei handelt es sich um Ventiltypen, die speziell für die Steuerung der Gasströmung in Vakuumanlagen entwickelt wurden. Diese Ventile unterscheiden sich in Bauform und Einbaulage, dienen aber alle zur Regulierung der Strömung von Gasen in einer Vakuumanlage.
Vakuum-Eckventile: Diese Ventile sind so aufgebaut, dass sie eine 90-Grad-Biegung aufweisen, die Richtungsänderungen innerhalb der Vakuumanlage ermöglicht. Üblicherweise werden sie dort eingesetzt, wo die Platzverhältnisse oder spezielle Rohrleitungskonfigurationen eine Änderung der Strömungsrichtung erfordern.
Inline-Ventile: Inline-Ventile weisen eine geradlinig durchgängige Bauform auf, die eine Gasströmung in linearer Richtung, ohne Änderung des Strömungswegs, ermöglichen. Sie eignen sich für Anwendungen, bei denen eine geradlinige Strömung bevorzugt wird oder bei denen genügend Platz für einen geraden Strömungsweg zur Verfügung steht.
Zylinderventile: Diese Ventile zeichnen sich durch einen zylindrischen Grundkörper aus, häufig in Kombination mit einem Linearantriebsmechanismus. Sie sind vielseitig einsetzbar und können in einer Vakuumanlage in verschiedenen Einbaulagen verwendet werden, sodass sie eine hohe Flexibilität bei der Installation und im Betrieb ermöglichen.
Zu den Hauptkomponenten gehören in der Regel der Ventilkörper, ein Betätigungselement (manuell, pneumatisch oder elektrisch), Dichtelemente sowie zusätzliche Ausstattungen, die für den Ventiltyp spezifisch sind, wie etwa Biegungswinkel bei Eckventilen oder zylindrische Ventilkörper bei Zylinderventilen.
Vakuum-Eckventile: Üblicherweise werden Vakuum-Eckventile zusammen mit Vakuumkammern, in der Halbleiterfertigung, bei der Dünnschicht-Auftragung und anderen Anwendungen, bei denen Änderungen der Strömungsrichtung erforderlich sind, verwendet.
Inline-Ventile: Inline-Ventile sind vielseitig einsetzbar. Sie finden zum Be- und Entlüften, Absperren/Isolieren und Regeln in Vakuumanlagen in verschiedenen Industriezweigen, wie beispielsweise in der pharmazeutischen Industrie oder der Chemieindustrie, wie auch in Forschungslabors Anwendung.
Zylinderventile: Diese Ventile haben einen weiten Einsatzbereich, der unter anderem Vakuumtrocknung, Vakuumöfen und Vakuum-Beschichtungsprozesse einschliesst.
Zu berücksichtigen sind der erforderliche Volumenstrom, der Druckbereich, die Werkstoffverträglichkeit, die Platzverhältnisse, die Einbaulage in der Anlage, die Art der Betätigung und spezifische Anforderungen oder Präferenzen, die durch die Verwendungsart oder Industrienormen vorgegeben sind.
Zu den Vorteilen, die diese Ventile bieten, zählen eine präzise Volumenstromregelung, die Kompatibilität mit Vakuumumgebungen, eine hohe Zuverlässigkeit und einfache Installation sowie eine hohe Flexibilität im Hinblick auf den Aufbau und die Konfiguration von Anlagen.
