Vakuumventile, die aktivierten aggressiven Prozessgasen ausgesetzt sind – insbesondere solche, die zur Absperrung von Remote-Plasmaquellen für Reinigungsgase verwendet werden – sind äusserst anfällig für Verschleiss. Häufige Produktionsunterbrechungen für die Wartung oder den Austausch dieser Ventile waren bislang die Regel. Das hat nun ein Ende.
Das Eckventil 24.2 setzt neue Massstäbe in Bezug auf Verschleissfestigkeit. In der Praxis hat sich gezeigt, dass die Betriebszeit im Schnitt das Doppelte beträgt wie die bestehender Lösungen – in einigen Fällen sogar deutlich länger.
Mit einem für Plasmareinigungsanwendungen optimierten Schliessmechanismus bietet das Eckventil 24.2 den Komfort eines präzise arbeitenden Absperrventils mit sehr hoher Lebensdauer und äusserst geringem Wartungsaufwand.
Die Schieberdichtungen sind die Schwachstellen der meisten Vakuumventile, die im Bereich der Plasmareinigung eingesetzt werden. Sie können den aggressiven Plasmagasen und den erzeugten Fluorradikalen nicht standhalten. Das Eckventil 24.2 löst dieses Problem durch die Verwendung einer Schliessglocke statt eines Schliessschiebers.
Durch die Glockenform können die Dichtungen in einer tiefen Dichtnut ausserhalb des Plasmastroms platziert werden, was einen besseren Schutz vor vorzeitigem Verschleiss bietet. Darüber hinaus lässt sich durch die Glockenform die Strömungsführung neu gestalten. Der optimierte Plasmastrom führt zu einem um 40 % höheren Leitwert im Vergleich zu einem herkömmlichen Eckventil. Dies erhöht die Leistungsausbeute des Plasmastroms, da weniger Energie durch Engpässe oder Verwirbelung verloren geht.
Das neue Design der Wellendurchführung schützt die Durchführungsdichtungen vor übermässiger thermischer Belastung. Eine spezielle Wellendurchführungskassette dient dazu, die Verschlussglocke thermisch von der Durchführung zu entkoppeln und eine direkte Wärmeleitung zu verhindern. Des Weiteren sind die Spaltmasse zwischen dem Gehäuse und der Verschlussglocke genau bemessen, um ein Eindringen des Plasmas zu verhindern und die damit verbundenen Auswirkungen zu minimieren.
Das Eckventil 24.2 hat seine Leistungsfähigkeit bereits in zahlreichen anspruchsvollen Plasmareinigungsprozessen unter Beweis gestellt. Dank seines modularen Designs kann es auch problemlos in bestehenden Systemen nachgerüstet werden.
Das Eckventil 24.2 ist in der Grösse DN 16 aus Aluminium mit einem doppelt wirkenden Pneumatikantrieb erhältlich. Weitere Grössen und eine Inline-Version gibt es auf Anfrage.
Das Ventil ist passiv luftgekühlt und benötigt keine Wasserkühlung. Eine aktive Luftkühlung ist jedoch optional verfügbar und kann mit derselben Druckluft wie der Antrieb genutzt werden. Die passive und optional aktive Luftkühlung schützt die temperaturempfindlichen Dichtungsflächen direkt, gleichmässig und effektiv.
Neben dem Standarddichtungsmaterial FKM (Viton®) kann für die dynamischen und statischen Dichtungen optional das Hochtemperaturmaterial FFKM (Kalrez®) verwendet werden, um die Verschleissfestigkeit auch ohne aktive Kühlung zu verbessern. Das Dichtungsmaterial lässt sich an die Kundenanforderung anpassen.
Das Eckventil 24.2 ist standardmässig mit einem KF-Flansch ausgestattet. Kundenspezifische Flansche sind optional erhältlich. Als Zubehör sind Flanschklemmen aus Kunststoff für die elektrische Isolierung erhältlich, die einen zusätzlichen Schutz gegen die Ausbreitung des elektrischen Stroms bieten.
Zusätzlich zu seiner hohen Verschleissfestigkeit wurde das Eckventil 24.2 speziell für eine schnelle und einfache Wartung konzipiert.
Das Lösen von nur vier Schrauben ermöglicht den Austausch aller relevanten Teile – einschliesslich der statischen und dynamischen Dichtungen und der Kassette – mit nur wenigen Handgriffen. Für eine schnelle und zuverlässige Wartung stehen Wartungs-Kits zur Verfügung.
Merkmale:
Vorteile:
| Grösse | 16 mm (5/8") | ||
|---|---|---|---|
| Flansch | ISO-KF | ||
| Antrieb | Pneumatik, doppeltwirkend | ||
| Lagemelder | Mikroschalter | ||
| Durchführung | Wellendurchführungstyp | ||
| Druckbereich bei 20 °C | 1 × 10-7 mbar to 1.2 bar (abs) | ||
| Leckrate bei 20 °C | Nach aussen (global) | < 1 × 10-9 mbar l/s | |
| Sitz | < 1 × 10-7 mbar l/s | ||
| DIFFERENZDRUCK AM TELLER | Geschlossen (in beide Richtungen) | ≤ 1.2 | |
| Beim Öffnen (in beide Richtungen) | ≤ 30 mbar | ||
| Leitwert | Molekularströmung | 5 l/s | |
| BETRIEBSZEIT | Schliessend und öffnend | ≤ 1 sec | |
| ZYKLEN BIS ZUR ERSTEN WARTUNG | Tmax 120 °C und unter reinen Bedingungen | 20 000 | |
| ZULÄSSIGE TEMPERATUREN | Ventilgehäuse | ≤ 150 °C | |
| Antrieb | ≤ 150 °C | ||
| Lagemelder | ≤ 120°C | ||
| PROZESSSEITIGE MATERIALIEN | Ventilgehäuse | Aluminium (EN AW-6060 (3.3206)) | |
| Ventilkörperboden (Einlassflansch) | Aluminium (EN AW-6082 (3.2315)) | ||
| Teller | Aluminium (EN AW-6082 (3.2315)) | ||
| Stellantrieb untere Kassette | Aluminium (EN AW-6082 (3.2315)) | ||
| Dichtungsmaterial | Teller | FKM (Viton®) | |
| Ventilkörper global | FKM (Viton®) | ||
| Wellendurchführungsschutz | FKM (Viton®) | ||
| Antrieb | Pneumatisches Volumen | 0.012 l / 0.0004 ft3 | |
| Min. – max. Betriebsdruck | 2 – 7 bar / 29 – 102 psi | ||
| Luftanschluss | ¼" Einbau | ||
| LUFTKÜHLUNGSFUNKTION | Max. Betriebsdruck | 7 bar / 102 psi | |
| Luftanschluss | ¼" Einbau | ||
