Zuverlässig unter allen Bedingungen

Das 06.1 Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT wurde entwickelt, um die besonderen Anforderungen von Display-Produktionssystemen zu erfüllen. Das 06.1 wurde für Produktionssysteme mit hoher Taktzahl entwickelt und kombiniert einen nahezu partikelfreien Betrieb mit einer herausragenden schnellen Bewegungszeit für große Transferventile (≤ 2 s bei 150 mm Öffnungshöhe). Das 06.1 ist für eine hohe Betriebszeit und einen zuverlässigen Betrieb über eine Lebensdauer von mehr als einer Million Zyklen ausgelegt.

Die für das 06.1 verwendete TWINVAT-Technologie basiert auf einem modularen Plattformkonzept und ist umfänglich auf die wichtigsten Display-Produktionsanwendungen optimiert:

    • PECVD / ETCH: Eine spezielle Funktion „Service-Position“ ermöglicht es, eine Prozesskammerseite unter Vakuum zu halten, während der Teller auf der anderen Seite gewartet wird. Dies reduziert Service-Stillstandszeiten erheblich. Die TWINVAT-Technologie ermöglicht eine stoßfreie Öffnungs- und Schließbewegung. Der leichtgängige, doppeltwirkende TWINVAT-Mechanismus sorgt für einen gleichmäßigen Dichtungsdruck über die gesamte Dichtungsfläche und minimiert so den Verschleiß der Dichtung und eine potentielle Partikelfreisetzung. Dies reduziert in relevantem Maß auch die Gesamtkosten für FFKM-Dichtungen über die Lebensdauer des Ventils.
    • OLED/PVD & Load-Lock: Mit einer modifizierten Version des 06.1 (der Version 06.3) mit größeren Druckelementen kann der volle Differenzdruck angelegt werden. Diese Version ist in der "Ultra Clean"-Konfiguration für OLED und mit einer Hochgeschwindigkeitsoption für PVD- und Load-Lock-Anwendungen erhältlich.

Die Baureihe 06.1 ist als Transferventil mit Gehäuse oder als Insert-Version zum direkten Einbau in die Prozesskammer erhältlich.

Bereits in hunderten von Display-Produktionssystemen weltweit in unterschiedlichsten Prozessbedingungen installiert, hat die Baureihe 06.1 ihre hervorragende Leistung in allen Aspekten bewiesen.

06.1
06.1
Geschlossen
06.1
Optisch geschlossen
06.1
Offen
06.1
Service Position 3

Das 06.1 Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT wird wie alle VAT-Transferventillösungen exakt auf die Kundenspezifikation zugeschnitten. Diese Anpassungen können eine zusätzliche Prozesssteuerungseinheit, spezielle Oberflächenbehandlungen wie harteloxiertes oder vernickeltes Aluminium, andere Dichtungsmaterialien, Vakuummessgeräte zur Erfassung des Drucks im Ventilgehäuse, faltenbalggeschützte Wellendurchführung, HF- & DC-Erdungsoptionen für Ventil und Teller, seitliche Einbaulage der Antriebe und vieles mehr umfassen.

Hauptmerkmale 06.1 Groß-Transverventil /-Insert mit TWINVAT

Merkmale:

    • Schockfreie Bewegung des Schließtellers
    • Spezielle Ventilservicefunktion für Tellerdichtungswechsel
    • Gleichmäßiger Druck auf die Tellerdichtung

Vorteile:

    • Geringe Partikel
    • Geringe Stillstandszeiten für Wartung
    • Schnelle Zykluszeiten
    • Hohe Verfügbarkeit
  • Technische daten
Grössen 100 x 1000 mm to 300 x 3800 mm (3.94" x 39.37" to 11.81" x 149.60")
AntriebPneumatischDoppeltwirkend mit Lagemelder
Gehäusewerkstoff Aluminium
Durchführung Schiebedurchführung
DichheitVentilgehäuse< 1 × 10-7 mbar ls-1
 Ventilsitz< 1 × 10-7 mbar ls-1
DifferenzdruckAm TellerVentil: nur in Schliessrichtung≤ 1 bar
  Insert: nur in Öffnungsrichtung≤ 30 mbar
 Beim Öffnen≤ 5 mbar
Zyklen bis zur ersten Wartung 1 Million
Schliess- oder Öffnungszeit < 2.5 s (bei 150 mm Öffnungshöhe)
TemperaturVentilgehäuse, Teller≤ 120 °C
 Antrieb≤ 60 °C
 Steuereinheit≤ 50 °C
WerkstoffVentilgehäuse, TellerEN AW-6082 (3.2315) or EN AW-5083 (3.3547)
 AntriebsstangenAISI 316 (1.4401)
 Balg am DruckelementAISI 633 (AM 350)
DichtungTeller, Flansche, Durchführung, AntriebFKM (Viton®)
Pumpe / Entlüftungsanschluss ISO-KF 40
Einbaulage Antrieb oben oder unten
LagemelderSpannung24 V DC PNP (NPN optional)

 

Produkt spezifizieren

Wählen Sie Produktdetails aus, um Ihre Anforderungen zu spezifizieren und damit ein Angebot oder CAD-Daten zum Download zu erhalten.

Maßgeschneiderte Lösung

Spezifizieren Sie Ihre individuelle Lösung.

Wenn Sie Ihre Spezifikation bereits vorliegen haben, laden Sie diese bitte hoch und senden Sie sie an uns. Wir senden Ihnen gerne ein Angebot zu.

Kontakt

Ausgewählte Anwendungen

Alle Anwendungen erkunden
Sputtern

Sputtern

PVD-Sputtern ist ein Kernverfahren der Displayproduktion. Ein wichtiger Fertigungsschritt ist z.B. die Backplane-Metallisierung, bei der Leiterbahnen ...

Mehr lesen
Dünnschichtverkapselung

Dünnschichtverkapselung

Dünnschichtverkapselungen (TFE) sorgen für die Haltbarkeit eines Displays und schützen ihn vor Umwelteinflüssen. Die hierzu eingesetzten chemischen Au...

Mehr lesen
OLED-Aufdampfung

OLED-Aufdampfung

OLED-Displays bieten eine bessere Bildqualität und einen geringeren Stromverbrauch. Ihr einfacher Aufbau ermöglicht eine neue Generation von ultradünn...

Mehr lesen
Dünnfilm-Beschichtung

Dünnfilm-Beschichtung

Für Dünnschicht-Beschichtungsprozesse werden eine Reihe unterschiedlicher Verfahren eingesetzt, z. B. CVD, PVD, MOCVD oder PECVD. Allen Prozessen geme...

Mehr lesen
Display-Trockenätzung

Display-Trockenätzung

Typischerweise wird beim Trockenätzen ein maskiertes Muster aus Halbleitermaterial durch einen Ionenbeschuss (meist ein Plasma aus reaktiven Gasen) en...

Mehr lesen