アングルコントロールバルブ SERIES 62.0は、ALDやCVDなどの高圧・高温環境下での真空プロセスに理想的なバルブです。SERIES 62.0の最高動作温度は200 °Cで、並外れて精密な圧力制御性能を発揮。電動リニア駆動アクチュエータを採用することで、とても滑らかで繊細な制御による開閉サイクルを可能にし、最小のコンダクタンスを実現しています。またソフト排気制御機能を搭載しているので、従来のほとんどの圧空駆動アクチュエータで起こる圧力ピークを回避できます。
オンボードコントローラ（DN80とDN100では外部コントローラ）には、サービスポートの接続やPCUに接続するための各種インターフェースが用意されています。また、バルブコントローラの主要な機能として制御性能分析（CPA）アプリがあり、様々なプロセス条件でのバルブのパフォーマンスを経時的に分析できます。
SERIES 62.0には、停電時にバルブの気密性を確保するために、「閉」位置でのロック機能もあります。
プロセス条件を問わず、すでに何百もの利用実績のあるアングルコントロールバルブSERIES 62.0は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性とパフォーマンスを証明してきました。制御性とバルブパフォーマンスのモニタリングの点において、このバルブはアングルコントロールバルブのベンチマークとなっています。
アングルコントロールバルブSERIES 62.0のサイズはDN16～100mm（5/8"～4"）からお選びいただけます。バルブボディの材質はステンレス鋼で、オプションでニッケルコーティングも可能です。DN16～50mm（5/8"～2"）サイズのアルミニウムもお選びいただけます。ボンネットとプレートはFKMまたはFFKMでシールされており、フィードスルーのシールにはベローズを採用しています。
暖房ジャケットはオプションで、DN 80とDN100の場合は特別なベローズ暖房を追加オプションとしてお選びいただけます。
コントローラのインターフェースはRS232、RS485、Logic（アナログ/デジタル）、DeviceNet®、Profibus、EtherCATです。
特徴：
メリット：
| DN 40 (1 1/2"), DN 50 (2") | DN 100 (4") | ||
|---|---|---|---|
| アクチュエータ | クローズドループ制御式ステッピングモーターによるリニア駆動 | ||
| ボディ素材 | アルミニウム、ステンレス鋼 | ステンレス鋼 | |
| フィードスルー | ベローズ | ベローズ | |
| 標準フランジ | ISO-KF | ISO-K | |
| 漏れ率 | バルブ本体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 圧力範囲 | < 1 × 10-8 mbar～1.4 bar (abs) | < 1 × 10-8 mbar～1.1 bar (abs) | |
| 差圧 | 開動作時のプレートにかけ得る値 | ≤ 1 bar | ≤ 1 bar |
| 第1回サービスまでのサイクル数1) | 絞り 締切り | 200万 100万 | 100万 200 000 |
| 許容温度 | 標準（バルブ/ベローズ） 高温オプション（バルブ/ベローズ） コントローラ/アクチュエータ周囲温度 | ≤ 80 °C ≤ 200°C 最大50 °C (推奨≤ 35 °C) | ≤ 80°C ≤ 200°C ≤ 50 °C (推奨≤ 35 °C) |
| 材料 | バルブ本体, プレート ベローズ | アルミニウムEN AW-6082 (3.2315)、 AISI 316L (1.4404または1.4435) AISI 316Ti (1.4571) | ステンレス鋼316L (1.4404または1.4435) AISI 316Ti (1.4571) |
| シール | ボンネット、プレート | FKM (Viton®) | FKM (Viton®) |
| 取り付け位置 | 自由 | 自由 | |
1) 最大値は使用条件およびシール材によって異なる
