CVDプロセス用のVAT真空およびガス供給バルブは、非常に精密な制御が可能であるだけでなく、腐食性の高い媒体との接触に対する高い耐性を備えています。これにより、生産品質と稼働率が向上し、全体的な収益性が向上します。

薄膜の封止に関する課題を解決するためのVAT真空バルブのソリューションについては、以下の製品からお選びください。