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シリコンカーバイド:特集:主流になりつつある半導体
シリコンチップはほぼすべての電子製品に組み込まれていますが、用途によってはシリコンチップを超える効率が求められます。その中で、シリコンカーバイド(SiC)チップがシリコンに代わる高性能な選択肢として普及しています。VATの真空ソリューションにより、さらに多くの用途でSiCチップの持続可能な利用が実現されています。(読了目安:約2分)
これらの機器の多くは、測定環境として高真空や超高真空を使用しています。ここでは、真空の精密な制御に加えて、真空の高純度化が特に重要となります。理化学機器用のVAT真空バルブは、この点を特別に考慮しています。
理化学機器用のVAT真空バルブソリューションは、通常、特定の用途に合わせてオーダーメイドされます。主な特徴としては、厳しいプロセス環境、特に小型の機器での高い耐久性と長寿命、メンテナンスがほとんど不要なコンパクトで省スペースな設計、高純度および超高純度の真空環境で使用できる最高レベルのパーティクルフリーなどがあります。
科学計測機器の特定の分野でどのような真空バルブソリューションを提供しているかについては、以下の分野から選択してください。