精密度と繊細さ

精密度は、真空を利用した製造プロセスの制御のみならず、処理された基板の取り扱いにおいても重要です。例えば、半導体製造におけるシリコン・ウェハーの移動における信頼性と精度は、生産品質とスループット効率に重大な影響を及ぼします。VATは長年にわたり、真空モジュール製品の一部として、モーションコンポーネントをお客様に提供してきました。今回、VATの高性能真空モーションコンポーネントは、VATのモジュールソリューションと切り離してこれらのコンポーネントをお客様に提供します。

VATは、高性能真空モーションコンポーネントの分野における最初の製品グループとして、メカトロニック・ウェーハ・リフト・システムを提供しています。

98.0
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Mechatronic Wafer Lift System
for High Performance Synchronized Lifting
 

すべてのVAT高性能真空モーションコンポーネントは、特定のアプリケーション要件に合わせてオーダーメイドされます。世界中で何千ものVATモーションコンポーネントモジュールが使用されている当社の豊富な経験をご活用ください。詳細については、お問い合わせください。

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