基板搬送

基板搬送用のVATトランスファーバルブは、プロセス条件が変化しても正確で安定した動作ができるように設計されています。各シリーズは、すべての性能パラメータにおいて、常にお客様の特定の要求に適合しています。主な機能としては、調整可能な開閉サイクル、オーバープレッシャーを回避する精密なアダプティブシーリング、1つまたは2つのアクチュエータによる摩擦のないLモーション、パーティクルの活性化防止などがあります。

基板搬送の課題を解決するVATトランスファーバルブソリューションの詳細については、以下のシリーズからお選びください。