汚染された真空プロセスでも信頼できる隔離

保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 17.2は、ガスの流れに副生成物が多く含まれる真空プロセスにおいて、信頼性の高い隔離ができるように設計されています。
このゲートバルブには、バルブ本体内部や機構への堆積を防ぐため、ゲートバルブが「開」位置にあるときに適所にスライドする保護リングを装備。これにより、過酷な環境下でもバルブの耐久性が高まって動作寿命が延びます。

高真空ゲートバルブSERIES 17.2にはゲートシール部の摩擦を排除し、確実な密閉性を実現するために開発された特殊な技術、VATLOCKテクノロジーを採用。VATLOCK機構はバルブの閉終了位置で機械的にロックする仕組みで、バルブの故障も防ぎます。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のある高真空ゲートバルブSERIES 17.2は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。今ではこのバルブが、汚染されたプロセスの真空隔離においてDN 63~320mm(2.5"~12")の標準となっています。SERIES 17.2は、信頼性の高さが求められる高真空ゲートバルブとしてそのすべての要求を満たす、潤滑剤不要の頑丈な設計。

高真空ゲートバルブSERIES 17.2には各種アクチュエータや取り付け用フランジのオプションも多彩に取り揃えており、どんな真空システムにも簡単に統合可能。特殊オプションも幅広く、粗引き用ポートや排気用、ゲージ用ポートのほかに、シーリング材も用途に応じて自由に選択でき、お客様の用途にぴったりと合わせることができます。さらに、限られた設置スペースにもぴったりと合うように、アクチュエータの取り付け位置を様々に指定できるというメリットもあります。

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保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 17.2には、ハンドホイールまたはレバーによる手動式のほかに、圧空作動式や複動式もあり、電磁弁は内蔵式または外部取り付けからお選びいただけます。電磁弁の標準電圧は24 VDCですが、それ以外もご要望に応じてお選びいただけます。

接続用フランジの標準オプションはISO-F、CF-F、ASA-LPおよびJISです。お客様指定のフランジも、水冷機構あり/なしどちらでも対応可能です。


保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 17.2の主な特徴

特徴:

    • 汚染されたプロセスで使用するための保護リング
    • フェイルセーフ設計のVATLOCKテクノロジー
    • 潤滑剤不要
    • 頑丈なステンレス鋼ボディ
    • 簡単メンテナンス

メリット:

    • 汚染環境でも信頼性の高いパフォーマンス
    • 長寿命
    • 長期間メンテナンス不要
    • 低コスト
  • 技術データ
サイズ DN 63 (2½’’)、DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8")
アクチュエータ圧空作動式複動式
 手動式ハンドホイールまたはレバーを使用
ボディ素材 ステンレス鋼
フィードスルー ロータリーフィードスルー
標準フランジ ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS
漏れ率バルブ本体< 1 × 10-9 mbar ls-1
 バルブシート< 1 × 10-9 mbar ls-1
圧力範囲 1 × 10-8 mbar~2 bar (abs)
差圧ゲート部≤ 2 bar
 開動作時≤ 30 mbar
第1回サービスまでのサイクル数 100 000
許容温度バルブ本体≤ 150 °C
 圧空アクチュエータ≤ 50 °C
 手動アクチュエータ≤ 80 °C
 電磁弁≤ 50 °C
 位置インジケーター≤ 80 °C
加熱および冷却速度 ≤ 50 °C h-1
材料バルブ本体、フランジAISI 304 (1.4301)
 機構AISI 301 (1.4310)、AISI 304 (1.4301)
AISI 316L (1.4404)、AISI 420 (1.4034)
シールボンネット、ゲートFKM (Viton®)
取り付け位置 自由
電磁弁 24 VDC, 2.5 W(ご要望による)
位置インジケーター:接触評価電圧≤ 250 VAC≤ 50 VDC
 電流≤ 5 A≤ 3 A
バルブの開閉位置表示 機械的な目視位置表示付き
標準製品の指定

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