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シリーズ

65.3 HV振子式コントロールバルブ

  • 65.3 - 65340-JAAK
65.3 - 65340-JAAK

シリーズ

65.3 HV振子式コントロールバルブ

品番
65340-JAAK

SEMI,FPD製造装置の圧力制御と真空封止用に最適

  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ
DN 100 (4")
フランジ
JIS
材料
アルミニウム
アクチュエータ
ステッピングモーター
コントローラー構成
SPS
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
最小圧力
1 × 10-8 mbar
最大圧力
1.2 bar (abs)
コンダクタンス
80 ls⁻¹
ゲートにかけ得る差圧
≤ 1 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 1 bar
Controller interface + sensors
RS485インターフェース / センサー 2つ
閉→開
4 s
開→閉
3 s
圧力制御（スロットル） 高速時間
0.4 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
0.7 s
重量
12.5 kg / 27.56 lbs
バルブ本体最大温度
≤ 120 °C
製品のアドオン
バルブ
温度管理
アクチュエータ
ゲート

653_HV_Pendulum_Control_Valve_65340_JAAK_3D_CAD_File-1280174a-3.zip

ZIP 579.71 KB

65.3 HV Pendulum Control Valve 65340-JAAK 2D Dimension Drawing

PDF 854.57 KB

65.3 HV Pendulum Control Valve 65340-JAAK Product Datasheet

PDF 254.95 KB

スペアパーツ

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