1 × 10^-8 mbar～1.2 bar (abs)

09.1 - 保護リング付き高真空ゲートバルブ

副生成物量を非常に多く含むガス流の隔離に適した保護ソリューション

最も過酷なサブファブプロセス用

ガスの流れに副生成物が非常に多く含まれていると、バルブの故障、また沈着による計画外保守作業が発生することがあります。保護リング付き高真空ゲートバルブ09.1 で、これを防ぐことができます。セルフクリーニング機能を備えた特別なWEDGE方式設計と保護リングにより、バルブシートに大量の沈着があっても、確実に開閉します。ゲートのくさび形により、バルブシートまたはゲートシールから沈着が押し出され、常に確実な密閉を保証できます。さらに保護リングは、バルブが開位置にあるときにハウジングを完全に覆うことで、プレートハウジング内の沈着物の蓄積を防ぎます。

09.1高真空ゲートバルブは、最大1 barの差圧で、完全に機能します。

プロセス条件を問わず、すでに利用実績のある保護リング付き高真空ゲートバルブ09.1は、厳しい環境での使用にも耐え、サブファブ用途においてその抜群の信頼性を証明してきました。どのような用途にも簡単に統合できます。

保護リング付き高真空ゲートバルブ09.1には空気圧バージョンがあります。制御バルブの標準電圧は24 VDCです。標準のシール材はFKMを使用していますが、それ以外の素材の使用もご要望にお応えします。また、ソフトポンプ機能の統合や、計測機器などのアクセスポイントの追加が可能です。

こちらもご覧ください
09.1 新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブ
 09.2 HVゲートバルブWEDGE方式

保護リング付き高真空ゲートバルブ09.1の主な特徴

特徴：

くさび形設計によるセルフクリーニング機能
保護リングによる沈着の蓄積防止
最大1 barの差圧で可能なバルブ開放

メリット：

過酷な環境下でも優れた信頼性
長いメンテナンスサイクル
低い稼働コスト

技術データ

サイズ		DN 100 (4")
アクチュエータ	空気圧	複動式
バルブボディの材質		ステンレス
フィードスルー		ベローズ
標準フランジ		ISO-F
リークレート	バルブボディ	< 1 × 10^-9 mbar ls^-¹
	バルブシート	< 1 × 10^-7 mbar ls^-¹
使用圧力範囲		1 × 10^-8 mbar～1.2 bar (abs)
ゲートにかけ得る許容最大差圧		≤ 1.2 bar
バルブを開けるときの許容最大差圧		≤ 1 bar
第1回サービスまでのサイクル数		1000
許容温度	バルブボディ	≤ 150 °C
	アクチュエータ	≤ 100 °C
	電磁弁	≤ 50 °C
	リミットスイッチ	≤ 70 °C
材料	バルブボディ、プレートゲート	AISI 304 (1.4301)
	ベローズ	AISI 633 (AM350)
シール	ボンネット、ゲート	FKM (フッ素ゴム) オプション：FFKM
取付方向		自由
電磁弁		24 VDC、1 W
リミットスイッチ：メカニカルスイッチ	電圧	24 VAC/DC
	電流	≤0.5 A
	パワー	最大10 W
重量		20 kg / 44.1 lbs