信頼性の高い粗大および微小ガス投与用

最新式ガスドージングバルブの重要なパフォーマンス指標は、制御性、およびフロー設定を確実かつ正確に再現する能力です。21.1 ガス投与バルブシリーは、どちらも提供します。

2バージョン利用可能 - 粗大ガス投与用 (DN10 mm、½インチ)、微小ガス投与用(DN16mm、⅝インチ) - SERIES 21.1では、個別の閉および投与針較正機能により、定義されたフロー設定を失うことなく閉めることができます。
投与針較正ハンドホイールを使用して、針位置とフロー設定を要件設定に合わせて微細に調整可能です。この設定は、開閉機構が投与機構を独立して作動させるため、バルブの開閉中、維持されます。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 21.1は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。

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微小投与
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ガスドージングバルブ SERIES 21.1は、手動ハンドホイール アクチュエーションによる粗大ガス投与用(DN10 mm、½インチ) バージョンと、微小ガス投与用 (DN16 mm、⅝インチ) バージョンがあります。粗大ガス投与バルブ体はアルミニウム、微小ガス投与バルブ体はステンレス鋼です。どちらにもISO-KFフランジがあります。微小ガス投与バルブでは、真空側フィルタの追加が可能です。


ガスドージングバルブSERIES 21.1の主な特徴

特徴:

    • 幅広いフロー制御範囲
    • 統合シャットオフバルブ
    • フロー設定を失うことなく閉じることが可能

メリット:

    • 優れた信頼性および寿命
    • 抜群の制御性
    • 低コスト

  • 技術データ
  粗大ガス投与バルブ微小ガス投与バルブ
漏れ率バルブ本体、バルブシート1× 10-8 mbar ls-11× 10-9 mbar ls-1
圧力範囲 1 × 10-7 mbar~4 bar (abs)1 × 10-7 mbar~2.5 bar (abs)
ガスの流れ、制御可能 

40 mbar l/sz~1700 mbar l/s

5 × 10-6 mbar l/s~1000 mbar l/s
デッドボリューム -0.032 cm3
許容温度 ベイクアウト ≤ 100 °C操作 ≤ 80 °C
ベイクアウト ≤ 100 °C
材料バルブ本体EN AW-6082 T6AISI 304 (1.4301)
 アクチュエータプラスチック (POM)プラスチック (POM)
 投与スリーブ-フッ素重合体
シール FKM (Viton®)FKM (Viton®)
取り付け位置 自由自由
重量 0.2 kg/0.44 lbs0.4 kg/0.88 lbs

 

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