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シリコンカーバイド:特集:主流になりつつある半導体
シリコンチップはほぼすべての電子製品に組み込まれていますが、用途によってはシリコンチップを超える効率が求められます。その中で、シリコンカーバイド(SiC)チップがシリコンに代わる高性能な選択肢として普及しています。VATの真空ソリューションにより、さらに多くの用途でSiCチップの持続可能な利用が実現されています。(読了目安:約2分)
質量分析やガス分析用の真空バルブのソリューションは、通常、オーダーメイドです。厳選されたVATの基本技術をベースに、コンダクタンス、気密性、作動性、アウトガスの程度やパーティクルの影響を受けないこと、温度耐性、フットプリントの要件などの技術パラメータの観点から、特定のアプリケーションに最適なソリューションを開発します。
質量分析計やガス分析計のバルブに関するVATのソリューションの詳細については、以下の製品をご参照ください。