ガスの流れに副生成物が多く含まれていると、バルブの故障、また沈着による計画外保守作業が発生することがあります。09.1 WEDGE方式設計高真空ゲートバルブで、これを防ぐことができます。セルフクリーニング機能を備えた特別なWEDGE方式設計により、バルブシートに大量の沈着があっても、確実に開閉します。ゲートのくさび形により、バルブシートまたはゲートシールから沈着が押し出され、常に確実な密閉を保証できます。
09.1 高真空ゲートバルブは、最大1 barの差圧で、完全に機能します。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のある09.1 WEDGE方式設計高真空ゲートバルブは、厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。特にサブファブ応用では、真空ポンプ隔離の標準ソリューションになっています。幅広い設計のオプションにより、真空ゲートバルブをあらゆる応用に簡単に統合できます。
09.1 ウェッジ式高真空ゲートバルブには、手動式および空気圧式があります。制御バルブの標準電圧は、 24 VDCです。フランジ接続は、ISO-KF、 ISO-F、CF-F、ASA-LP、JISのほか、お客様固有のフランジにも対応しています。標準のOリング材質はFKMですが、ご要望に応じてそれ以外の材質も対応可能です。また、オプションとして、ソフトポンプ機能の搭載や、計測機器などのアクセスポイントの追加が可能です。
特徴：
メリット：
| サイズ | DN 50 (2")、DN 63 (2½’’)、DN 80 (3")、DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8") | ||
|---|---|---|---|
| アクチュエータ | 圧空作動式 | 複動式 | |
| 手動式 | クランクハンドル付き | ||
| バルブボディの材質 | ステンレス | ||
| フィードスルー | ベローズ | ||
| 標準フランジ | ISO-KF、ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS | ||
| リークレート | バルブボディ | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| バルブシート | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | ||
| 使用圧力範囲 | 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs) | ||
| ゲートにかけ得る許容最大差圧 | ≤ 1.2 bar | ||
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≤ 1 bar | ||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 5000 | ||
| 許容温度 | バルブボディ | ≤ 180 °C | |
| 手動/圧空アクチュエータ | ≤ 100 °C | ||
| 電磁弁 | ≤ 50 °C | ||
| リミットスイッチ | ≤ 70 °C | ||
| 材料 | バルブ本体、プレートゲート | AISI 304 (1.4301) | |
| ベローズ | AISI 633 (AM350) | ||
| シール | ボンネット、ゲート | FKM (フッ素ゴム) オプション：FFKM | |
| 取付方向 | 自由 | ||
| 電磁弁 | 24 VAC/DC、1 W | ||
| リミットスイッチ：メカニカルスイッチ | 電圧 | 24 VAC/DC | |
